0HT天车
半导体制造工厂的AMHS是一个大系统，包括AMHS传送硬件设备（OHT、AGV/AMR、Lifter等)、存储设备（Foup & Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB、OHCV、OHB）、净化设备（TLP、OPS、FPS等）及软件系统（MCS、OHTC、STKC等）。AMHS方案主要分为三种，空中走行式天车搬运系统（OHT）、洁净存储系统（STK）和移动机器人（AGV）地面方案。
OHT全称Overhead Hoist Transport，可以在空中轨道上自如行驶，并通过皮带传动起重机构，实现“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。已成为300mm FAB及下一代FAB的核心搬送技术。不仅在工序区内部运输中大展身手，更广泛应用于工序区间乃至工厂间的运输需求。
